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芯片废水零排放

 

【项目简介】


芯片制造过程中,晶圆清洗、蚀刻、沉积等工序需大量使用含氯化学品(如盐酸、氯化铵),产生以氯化盐为主的高盐废水。这类废水不仅含盐量高(氯化物浓度常达 5%-8%),还含有重金属离子(如铜、镍)、有机污染物(如光刻胶残留)及微量氟化物,处理难度位居工业废水前列。传统废水处理工艺难以满足 “零排放” 与 “资源回收” 双重需求,科锐该项目通过 “预处理 + 电驱膜浓缩 + MVR 结晶” 全流程技术,实现 16% 氯化盐浓缩浓度,为行业打造废水处理新范式。

 

 

【项目特色】

  • 全流程一体化设计,实现稳定达标与结晶出盐
    项目采用“预处理+MVR结晶”的完整工艺路线,成功打通从废水预处理、深度浓缩到最终资源化结晶的全流程。这不仅确保了系统最终产水的稳定达标,更实现了杂盐的固态结晶分离,为电镀废水的彻底治理与资源化提供了可靠的终端解决方案。
  • 高倍率浓缩技术,显著降低末端处置成本
    针对以氯化盐为主的电镀废水,项目成功实现浓缩浓度达到16%(160 g/L)。这一高倍率浓缩效果大幅减少了进入MVR蒸发结晶系统的废水量,直接降低了高能耗末端单元的设备投资与运行成本,使零排放方案在经济上更具可行性。
  • 精准预处理工艺,保障核心系统稳定运行
    电镀废水成分复杂,含有重金属等杂质。项目特色的预处理系统有效去除了对后续膜浓缩和MVR装置有害的成分,确保了核心工艺段免受污染与结垢,保障了全流程的长期稳定、高效运行。
  • 实现废水资源化,环保与经济价值双赢
    项目最终通过MVR结晶获得固体杂盐,虽为杂盐,但实现了污染物的固化与减量化,为后续有条件的资源化利用或合规处置奠定了基础。整个流程将电镀废水从环境负担转化为潜在资源,实现了环境效益与成本控制的统一。
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