반도체 폐수 제로액체배출
【프로젝트 개요】
반도체 제조 과정에서 웨이퍼 세정, 에칭, 증착 등의 공정에는 염소계 화학물질(염산, 염화암모늄 등)이 대량으로 사용되어 염화염이 주성분인 고염폐수가 발생합니다. 이러한 폐수는 염분 함량이 높을(염화물 농도 typically 5-8%) 뿐만 아니라, 중금속 이온(구리, 니켈 등), 유기 오염물(포토레지스트 잔류물 등) 및 미량의 불화물을 포함하고 있어 처리 난이도가 산업 폐수 중 최상위권에 속합니다. 기존 폐수 처리 공정은 '무방류(ZLD)'와 '자원 회수'라는 두 가지 요구 사항을 동시에 충족시키기 어려웠습니다. **Crea**의 해당 프로젝트는 **"전처리 + 전기화학 막 농축 + MVR 결정화"** 라는 전 공정 기술을 통해 **16% 염화염 농축 농도**를 실현하여 업계에 폐수 처리의 새로운 패러다임을 제시했습니다.
【프로젝트 특징】
- 전 공정 일체형 설계, 안정적인 기준 충족 및 결정화 염 생산 실현
프로젝트는 **"전처리 + MVR 결정화"** 의 완전한 공정 경로를 채택하여, 폐수 전처리부터 심도 농축, 최종 자원화 결정화에 이르는 전 공정을 성공적으로 구축했습니다.이는 시스템의 최종 방류수가 안정적으로 기준에 도달하도록 보장할 뿐만 아니라, 불순 염의 고체 상태 결정화 분리를 실현하여 도금 폐수의 철저한 처리와 자원화를 위한 신뢰할 수 있는 최종 솔루션을 제공합니다.
- 고배율 농축 기술, 말단 처리 비용 현저히 절감
염화염이 주성분인 도금 폐수를 대상으로, 프로젝트는 농축 농도 **16%(160 g/L)** 달성에 성공했습니다.이러한 고배율 농축 효과는 MVR 증발 결정화 시스템으로 유입되는 폐수량을 대폭 감소시켜, 고에너지 소비 말단 유닛의 장비 투자 및 운영 비용을 직접 절감하며 무방류 솔루션의 경제적 타당성을 높였습니다.
- 정밀 전처리 공정, 핵심 시스템 안정적 운전 보장
도금 폐수는 성분이 복잡하고 중금속 등 불순물을 포함합니다.프로젝트의 특화된 전처리 시스템은 후속 막 농축 및 MVR 장치에 유해한 성분을 효과적으로 제거하여 핵심 공정 구간이 오염과 스케일링으로부터 보호되도록 하고, 전 공정의 장기적 안정 및 고효율 운전을 보장합니다.
- 폐수 자원화 실현, 환경 보호와 경제 가치 동시 달성
프로젝트는 최종적으로 MVR 결정화를 통해 고체 불순 염을 획득합니다. 비록 불순 염이지만, 이를 통해 오염물의 고형화와 감량화를 실현하여 후속 조건부 자원화 활용 또는 규정 준수 처분의 기초를 마련했습니다.전체 공정은 도금 폐수를 환경 부담에서 잠재적 자원으로 전환하여 환경 이익과 비용 통제의 통일을 실현했습니다.
